Vorrichtung und Methode zur Herstellung von Barriereschichten für Metalle sowie Vorrichtung und Methode zur Herstellung von Metallschichten
Anmelder: Canon Anelva Corporation, PhyzChemix Corporation, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1475455
- Aktenzeichen
- EP04017494
- Anmeldetag
- 28. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 11. Januar 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/00C23C14/02C23C14/06C23C14/16C23C28/02H01L21/768
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Canon Anelva Corporation
PhyzChemix Corporation
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.
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Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.
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Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München