Druckregelungssystem für Prozesskammer auf der Basis der Pumpengeschwindigkeit, der Ventilöffnung und Neutralgasinjektion
EP1475535
Art B1
6. Oktober 2010
Anmelder: Alcatel Lucent, ALCATEL 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1475535
- Aktenzeichen
- EP04291149
- Anmeldetag
- 4. Mai 2004
- Veröffentlichung
- 6. Oktober 2010
- Erteilung
- 6. Oktober 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04B41/06F04B49/08F04D19/04G05D16/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Alcatel Lucent
ALCATEL - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Alcatel-Lucent
Ehemaliger französisch-amerikanischer Telekommunikationskonzern mit Sitz in Paris/Boulogne-Billancourt, entstanden 2006 aus der Fusion von Alcatel und Lucent Technologies. War aktiv in Netzwerktechnik, Telekommunikationsausrüstung und Glasfasertechnologie; seit 2016 Teil von Nokia.
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Weitere Vertreter
-
Lamoureux, Bernard
NoneParis