Maskenrohling zur Verwendung in der EUV-Lithographie und Verfahren zu dessen Herstellung

EP1475663 Art A3 23. November 2005

Anmelder: Schott AG, SCHOTT AG, Schott Glas, CARL-ZEISS-STIFTUNG trading as SCHOTT GLAS 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1475663
Aktenzeichen: EP04008830
Anmeldetag: 15. April 2004
Veröffentlichung: 23. November 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/14G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Schott AG
SCHOTT AG
Schott Glas
CARL-ZEISS-STIFTUNG trading as SCHOTT GLAS
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 SCHOTT

Deutsches Technologieunternehmen mit Sitz in Mainz, spezialisiert auf Spezialglas und Glaskeramik für Pharma-, Optik-, Elektronik- und Haushaltsanwendungen.

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🇩🇪 Schott Glas

Schott Glas ist ein deutscher Spezialglashersteller mit Sitz in Mainz, bekannt für Glaskeramik, optisches Glas und Pharmaverpackungen. Das Patentportfolio konzentriert sich auf anorganische Chemie und Werkstoffe sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Halbleiterbauelemente und Metallurgie. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2008.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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