Maskenrohling zur Verwendung in der EUV-Lithographie und Verfahren zu dessen Herstellung

EP1475663 Art A3 23. November 2005

Anmelder: Schott AG, SCHOTT AG, Schott Glas, CARL-ZEISS-STIFTUNG trading as SCHOTT GLAS 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1475663
Aktenzeichen: EP04008830
Anmeldetag: 15. April 2004
Veröffentlichung: 23. November 2005
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/14G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Schott AG
SCHOTT AG
Schott Glas
CARL-ZEISS-STIFTUNG trading as SCHOTT GLAS
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 SCHOTT

Deutsches Technologieunternehmen mit Sitz in Mainz, spezialisiert auf Spezialglas und Glaskeramik für Pharma-, Optik-, Elektronik- und Haushaltsanwendungen.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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