Reinigungsgas und Ätzgas
Anmelder: Asahi Glass Company, Limited, Canon Anelva Corporation, Ulvac, Inc., Kanto Denka Kogyo Co., Ltd., Sanyo Electric Co., Ltd., Sony Corporation, Daikin Industries, Ltd., Hitachi Kokusai Electric Inc., Fujitsu Microelectronics Limited, Panasonic Corporation, Renesas Technology Corp., National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Research Institute of Innovative Technology For The Earth 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1475822
- Aktenzeichen
- EP03701903
- Anmeldetag
- 28. Januar 2003
- Veröffentlichung
- 31. Dezember 2008
- Erteilung
- 31. Dezember 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205C09K13/08C23C16/44H01L21/3065
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Asahi Glass Company, Limited
Canon Anelva Corporation
Ulvac, Inc.
Kanto Denka Kogyo Co., Ltd.
Sanyo Electric Co., Ltd.
Sony Corporation
Daikin Industries, Ltd.
Hitachi Kokusai Electric Inc.
Fujitsu Microelectronics Limited
Panasonic Corporation
Renesas Technology Corp.
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Research Institute of Innovative Technology For The Earth - Land
- 🇯🇵 Japan
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