System zur Bildung eines Plasmafilms

EP1475824 Art A1 10. November 2004

Anmelder: SEKISUI CHEMICAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1475824
Aktenzeichen
EP03748739
Anmeldetag
7. Oktober 2003
Veröffentlichung
10. November 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205C23C16/50
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SEKISUI CHEMICAL CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sekisui Chemical

Japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Osaka, tätig in den Bereichen Hochleistungskunststoffe, Bauelemente und elektronische Materialien.

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