Verfahren zur Herstellung einer Schicht aus Silizium Karbid oder aus einer Gruppe Iii-Nitrid auf ein Angepasstes Substrat

EP1476898 Art B1 28. Dezember 2005

Anmelder: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS) 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1476898
Aktenzeichen
EP03718870
Anmeldetag
13. Februar 2003
Veröffentlichung
28. Dezember 2005
Erteilung
28. Dezember 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20C30B25/18C30B29/36C30B29/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE -CNRS-
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (CNRS)
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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