Halbleiterwaferherstellungsverfahren, Halbleiterwaferherstellungsbestellannahmeverfahren und Halbleiterherstellungsbestellannahmesystem

EP1478009 Art A1 17. November 2004

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1478009
Aktenzeichen
EP03701149
Anmeldetag
22. Januar 2003
Veröffentlichung
17. November 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02G06F17/60H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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