Verfahren und System zur Regelung der Nachpolierdauer Und/oder der Polierdauer in der Endbearbeitung Beim Chemisch Mechanischen Polieren

EP1478494 Art B1 12. Oktober 2005

Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1478494
Aktenzeichen
EP02798618
Anmeldetag
20. Dezember 2002
Veröffentlichung
12. Oktober 2005
Erteilung
12. Oktober 2005
Rechtsraum
EP
IPC
B24B49/03B24B37/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Advanced Micro Devices

US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.

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