Verfahren und Zusammensetzung zum Polieren eines Substrats

EP1478708 Art A1 24. November 2004

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1478708
Aktenzeichen
EP03711289
Anmeldetag
26. Februar 2003
Veröffentlichung
24. November 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02H01L21/321
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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