Chemisch-mechanisches Polierverfahren für STI

EP1479741 Art B1 2. April 2008

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1479741
Aktenzeichen
EP04011992
Anmeldetag
19. Mai 2004
Veröffentlichung
2. April 2008
Erteilung
2. April 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02C09K3/14H01L21/304H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
JSR Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

1.781 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Leson, Thomas Johannes Alois, Dipl.-Ing München, Deutschland
4.590
Patente gesamt
34
Fachgebiete
21
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Nachrichtentechnik & Telekommunikation
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