Einsatz eines wasserlöslichen, negativ-arbeitenden Fotoresists bei der Herstellung von dicht angeordneten Kontaktlöchern
EP1480081
Art A3
11. Oktober 2006
Anmelder: AZ Electronic Materials USA Corp., CLARIANT INTERNATIONAL LTD. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1480081
- Aktenzeichen
- EP04011485
- Anmeldetag
- 14. Mai 2004
- Veröffentlichung
- 11. Oktober 2006
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- AZ Electronic Materials USA Corp.
CLARIANT INTERNATIONAL LTD. - Land
- 🇺🇸 USA
🇨🇭
Clariant
Clariant ist ein Schweizer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Muttenz, der Additive, Katalysatoren und Wirkstoffe für Industrie, Konsumgüter und Energieanwendungen herstellt.
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