Methode zur Qualitätsanalyse von Kontakten und Viaverbindungen in Halbleiterfertigungsprozessen mit Mehrschichtmetallisierung und dazugehörige Testchiparchitektur

EP1480271 Art A1 24. November 2004

Anmelder: STMicroelectronics S.r.l., STMicroelectronics Srl 🇮🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1480271
Aktenzeichen
EP03425336
Anmeldetag
23. Mai 2003
Veröffentlichung
24. November 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L23/544G01R31/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
STMicroelectronics S.r.l.
STMicroelectronics Srl
Land
🇮🇹 Italien
🇮🇹 STMicroelectronics Italy

Italienische Konzerngesellschaft des schweizerisch-französischen Halbleiterherstellers STMicroelectronics. Entwickelt und fertigt Halbleiterkomponenten für Automobil-, Industrie- und Konsumelektronik.

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