Verfahren zur Passivierung von Materialien mit Niedrigem Dielektrikum bei der Waferverarbeitung
EP1481284
Art A1
1. Dezember 2004
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited, Supercritical Systems Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1481284
- Aktenzeichen
- EP03716327
- Anmeldetag
- 4. März 2003
- Veröffentlichung
- 1. Dezember 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G03F7/16G03F7/36G03F7/42C23C8/00C23C14/02C25F1/00C25F5/00H01L21/3105
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited
Supercritical Systems Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Boehmert & Boehmert
München, Deutschland
Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.
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