Refraktives Projektionsobjektiv mit einer Taille
EP1481286
Art A2
1. Dezember 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1481286
- Aktenzeichen
- EP03706529
- Anmeldetag
- 19. Februar 2003
- Veröffentlichung
- 1. Dezember 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr
Oberkochen, Deutschland
27
Patente gesamt
5
Fachgebiete
2
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Schwerpunkte