Vermeidung und Entfernung von Kontamination auf optischen Elementen
EP1481287
Art A2
1. Dezember 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1481287
- Aktenzeichen
- EP03711941
- Anmeldetag
- 7. März 2003
- Veröffentlichung
- 1. Dezember 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20B08B7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Werner, Anne-Estelle
Münster, Deutschland
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-
Fuchs Mehler Weiss & Fritzsche
Fuchs Mehler Weiss & Fritzsche · Wiesbaden