Extrem-Ultraviolet-Lithographische Elemente mit Verringerten Schlieren und Verfahren zur Herstellung Derselben

EP1481288 Art B1 5. Mai 2010

Anmelder: Corning Incorporated, CORNING INCORPORATED 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1481288
Aktenzeichen
EP03744207
Anmeldetag
4. März 2003
Veröffentlichung
5. Mai 2010
Erteilung
5. Mai 2010
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Corning Incorporated
CORNING INCORPORATED
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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