Vorrichtung zur Herstellung von Halbleitern oder Flüssigkristallen
EP1482071
Art A1
1. Dezember 2004
Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd., SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, Ltd 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1482071
- Aktenzeichen
- EP03743555
- Anmeldetag
- 3. März 2003
- Veröffentlichung
- 1. Dezember 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/458H01L21/02H01L21/205H01L21/3065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Sumitomo Electric Industries, Ltd.
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, Ltd - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sumitomo Electric Industries
Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.
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Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
2.091
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