System und Methode zur Herstellung von Graustufen durch die Verwendung von räumlichen Lichtmodulatoren in einem maskenlosen Lithographiesystem

EP1482367 Art A2 1. Dezember 2004

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1482367
Aktenzeichen: EP04012133
Anmeldetag: 21. Mai 2004
Veröffentlichung: 1. Dezember 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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