Verfahren zur Bildung eines Dünnfilms

EP1482540 Art A9 2. November 2005

Anmelder: ROHM CO., LTD., Rohm Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1482540
Aktenzeichen
EP03743556
Anmeldetag
3. März 2003
Veröffentlichung
2. November 2005
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/316C01B33/12H01L21/768
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ROHM CO., LTD.
Rohm Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Rohm

Japanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kyoto, spezialisiert auf integrierte Schaltkreise, diskrete Halbleiterbauelemente und Leistungshalbleiter (unter anderem Siliziumkarbid-Bauteile).

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