Waferträgertür mit Formanpassungsmechanismusabdeckung

EP1483179 Art A1 8. Dezember 2004

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1483179
Aktenzeichen
EP03702156
Anmeldetag
16. Januar 2003
Veröffentlichung
8. Dezember 2004
Rechtsraum
EP
IPC
B65D85/30
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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