Verstärkter Riemen für Chemisch-Mechanisches-Planarisieren
EP1483182
Art A2
8. Dezember 2004
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1483182
- Aktenzeichen
- EP03711516
- Anmeldetag
- 10. März 2003
- Veröffentlichung
- 8. Dezember 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B21/00B24B23/06B24B37/04B24D11/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Kanzlei
Dendorfer & Herrmann
München, Deutschland
Münchner Kanzlei in unmittelbarer Nähe zu DPMA und Europäischem Patentamt, verbindet akademische Expertise mit rechtlichem und sprachlichem Können. Mitgründer Dr. Franz Herrmann promovierte in Physik an der LMU in Kooperation mit dem Max-Planck-Institut, UC Berkeley und NASA Ames.
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