Mit Positiv Geladenen Polyelektrolyten Behandelte Anionische Schleifmittelteilchen für das Chemomechanische Polieren
EP1483349
Art B1
26. Dezember 2007
Anmelder: Cabot Microelectronics Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1483349
- Aktenzeichen
- EP03739720
- Anmeldetag
- 10. Februar 2003
- Veröffentlichung
- 26. Dezember 2007
- Erteilung
- 26. Dezember 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C09G1/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Cabot Microelectronics Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cabot Microelectronics
Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.
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Vertreten von
Trueman, Lucy Petra
Birmingham, Großbritannien
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