Optisches System mit Doppelbrechenden Optischen Elementen
EP1483616
Art A1
8. Dezember 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1483616
- Aktenzeichen
- EP02779537
- Anmeldetag
- 7. November 2002
- Veröffentlichung
- 8. Dezember 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B27/28G02B5/30G02B13/14G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Müller-Rissmann, Werner Albrecht, Dr
Oberkochen, Deutschland
27
Patente gesamt
5
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte