Vollphasenverschiebungsmaske in einem Damascene-Prozess
EP1483628
Art B1
21. März 2012
Anmelder: Synopsys, Inc., Numerical Technologies, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1483628
- Aktenzeichen
- EP03713753
- Anmeldetag
- 27. Februar 2003
- Veröffentlichung
- 21. März 2012
- Erteilung
- 21. März 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00G03F9/00G03C5/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Synopsys, Inc.
Numerical Technologies, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Synopsys
Synopsys ist ein US-amerikanischer Anbieter von Software für den Chip- und Systementwurf (EDA) mit Sitz in Kalifornien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Optik und Elektronik für Entwurfswerkzeuge. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.
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Freeman, Jacqueline Carol
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