Verfahren zur Nassbehandlung von Scheibenförmigen Gegenständen
EP1483778
Art B1
13. April 2011
Anmelder: Lam Research AG, SEZ AG 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1483778
- Aktenzeichen
- EP03702646
- Anmeldetag
- 17. Februar 2003
- Veröffentlichung
- 13. April 2011
- Erteilung
- 13. April 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research AG
SEZ AG - Land
- 🇦🇹 Österreich
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Kontrus, Gerhard, SEZ AG
Kontrus, Gerhard, SEZ AG · Villach