Verfahren und Resultierende Struktur zur Herstellung eines Halbleitersubstrats

EP1483786 Art A1 8. Dezember 2004

Anmelder: COMMONWEALTH SCIENTIFIC AND INDUSTRIAL RESEARCH ORGANISATION 🇦🇺

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1483786
Aktenzeichen
EP03707901
Anmeldetag
13. März 2003
Veröffentlichung
8. Dezember 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/78H01L23/14
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
COMMONWEALTH SCIENTIFIC AND INDUSTRIAL RESEARCH ORGANISATION
Land
🇦🇺 Australien
🇦🇺 CSIRO

Australische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Canberra, tätig in einem breiten Spektrum wissenschaftlicher Disziplinen von Agrarwissenschaft über Materialforschung bis Astronomie.

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