Halter für ein Halbleiterproduktionssystem

EP1484787 Art A1 8. Dezember 2004

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd., SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1484787
Aktenzeichen
EP03744004
Anmeldetag
6. März 2003
Veröffentlichung
8. Dezember 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/68H01L21/203H05B3/68H01L21/31H01L21/027H05B3/74H05B3/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Sumitomo Electric Industries, Ltd.
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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