Hochfrequenz-Stromversorgungsstruktur und Dieselbe Verwendendes Plasma-Cvd-Bauelement

EP1484788 Art B1 14. Dezember 2011

Anmelder: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD., Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1484788
Aktenzeichen: EP03708585
Anmeldetag: 13. März 2003
Veröffentlichung: 14. Dezember 2011
Erteilung: 14. Dezember 2011
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/205C23C16/50C23F4/00H05H1/46C23C16/505

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.
Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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