Verwendung Lichtemittierender Chemischer Reaktionen zur Steuerung von Halbleiterherstellungsprozessen
EP1485937
Art A2
15. Dezember 2004
Anmelder: The BOC Group plc 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1485937
- Aktenzeichen
- EP03744445
- Anmeldetag
- 14. März 2003
- Veröffentlichung
- 15. Dezember 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- The BOC Group plc
- Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
The BOC Group
The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.
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Vertreten von
Murnane, Graham John
München, Deutschland
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