Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Halbleiter/metall- oder Isolator/metall-Schichtverbundcluster

EP1486583 Art B1 3. November 2010

Anmelder: Japan Science and Technology Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1486583
Aktenzeichen: EP03743015
Anmeldetag: 27. Januar 2003
Veröffentlichung: 3. November 2010
Erteilung: 3. November 2010
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/34

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Abstract

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Anmelder

Firma: Japan Science and Technology Agency
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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