Vorrichtung und Verfahren zur Detektion von Übergänge der Oberflächeneigenschaften eines Wafers bei dem Chemisch-Mechanischen Polierverfahren für Prozess-Status und Prozess-Kontrolle
EP1487611
Art A1
22. Dezember 2004
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1487611
- Aktenzeichen
- EP03716866
- Anmeldetag
- 26. März 2003
- Veröffentlichung
- 22. Dezember 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B49/10B24B49/14H01L21/66B24B49/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
Forresters IP LLP
München, Deutschland
Forresters IP LLP feierte 2024 sein 140-jähriges Bestehen, gegründet bereits 1884, und zählt zu Großbritanniens traditionsreichsten IP-Kanzleien mit Büros in München, London, Birmingham und Liverpool. Alle Patentanwälte sind European Patent Attorneys, die Financial Times zählte sie mehrfach zu Europas führenden Patentkanzleien.
11.380
Patente gesamt
5
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Thomson, Paul Anthony
NoneBirkenhead