Photomaske und Verfahren zur Photolithographischen Mustererzeugung auf einem Substrat unter Benützung von Hilfsstrukturen mit Phasenänderung

EP1488284 Art B1 20. Dezember 2006

Anmelder: Intel Corporation, INTEL CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1488284
Aktenzeichen
EP03711440
Anmeldetag
6. März 2003
Veröffentlichung
20. Dezember 2006
Erteilung
20. Dezember 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/14G03F1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Intel Corporation
INTEL CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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Fachgebiete

Kanzlei
Boehmert & Boehmert München, Deutschland

Boehmert & Boehmert geht auf die Zulassung von Dr. Karl Boehmert 1931 in Berlin zurück. Mit Standorten in Deutschland, Alicante, Paris und Shanghai bietet die Kanzlei IP aus einer Hand und legt besonderen Wert auf persönliche Mandantenbetreuung statt Anonymität.

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