Vakuumplasmagenerator

EP1488444 Art B1 2. November 2016

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon, Oerlikon Trading AG, Trübbach, Unaxis Balzers Aktiengesellschaft 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1488444
Aktenzeichen
EP03701433
Anmeldetag
19. Februar 2003
Veröffentlichung
2. November 2016
Erteilung
2. November 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/34H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Oerlikon Trading AG, Trübbach
Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
Land
🇨🇭 Schweiz

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