Mikrofluidisches Bauteil und Verfahren zu dessen Herstellung

EP1489045 Art A3 26. Oktober 2005

Anmelder: Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1489045
Aktenzeichen: EP04011437
Anmeldetag: 13. Mai 2004
Veröffentlichung: 26. Oktober 2005
Rechtsraum: EP
IPC: B01L3/00B81B1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Dainippon Screen Mfg

Dainippon Screen Mfg war ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Halbleiter und Druckvorstufe, ein Vorläufer des heutigen SCREEN-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik, ergänzt durch Nachrichten- und Halbleitertechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2014 ab.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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