Cvd-Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung der Cvd-Vorrichtung
Anmelder: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, ULVAC, INC., Kanto Denka Kogyo Co., Ltd., Canon Anelva Corporation, Sanyo Electric Co., Ltd., SHOWA DENKO K.K., Sony Corporation, Tokyo Electron Limited, Panasonic Corporation, Hitachi Kokusai Electric Inc., Mitsubishi Electric Corporation, Renesas Electronics Corporation, RESEARCH INSTITUTE OF INNOVATIVE TECHNOLOGY FOR THE EARTH, Research Institute of Innovative Technology for the Earth 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1489645
- Aktenzeichen
- EP03715380
- Anmeldetag
- 19. März 2003
- Veröffentlichung
- 29. Dezember 2010
- Erteilung
- 29. Dezember 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205H01L21/31C23C16/44
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
ULVAC, INC.
Kanto Denka Kogyo Co., Ltd.
Canon Anelva Corporation
Sanyo Electric Co., Ltd.
SHOWA DENKO K.K.
Sony Corporation
Tokyo Electron Limited
Panasonic Corporation
Hitachi Kokusai Electric Inc.
Mitsubishi Electric Corporation
Renesas Electronics Corporation
RESEARCH INSTITUTE OF INNOVATIVE TECHNOLOGY FOR THE EARTH
Research Institute of Innovative Technology for the Earth - Land
- 🇯🇵 Japan
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