Filtrationsmodul

EP1490157 Art A1 29. Dezember 2004

Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1490157
Aktenzeichen
EP03707860
Anmeldetag
11. Februar 2003
Veröffentlichung
29. Dezember 2004
Rechtsraum
EP
IPC
B01D29/11B01D35/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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