Filtrationsmodul

EP1490158 Art B1 29. Dezember 2010

Anmelder: Entegris, Inc., Mykrolis Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1490158
Aktenzeichen
EP03716357
Anmeldetag
6. März 2003
Veröffentlichung
29. Dezember 2010
Erteilung
29. Dezember 2010
Rechtsraum
EP
IPC
B01D35/30
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Mykrolis Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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