Dampfphasenabscheidung von SIO2-Nanolaminaten
EP1490529
Art A1
29. Dezember 2004
Anmelder: President and Fellows of Harvard College, PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1490529
- Aktenzeichen
- EP03726151
- Anmeldetag
- 28. März 2003
- Veröffentlichung
- 29. Dezember 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/40
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- President and Fellows of Harvard College
PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Harvard University
US-amerikanische Elite-Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts. Harvard betreibt Forschung und Patentierung in zahlreichen Feldern, insbesondere Biotechnologie, Medizin, Life Sciences und Materialwissenschaften.
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Vertreten von
Kirkham, Nicholas Andrew
Sevenoaks, Großbritannien
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