Graphische Benutzerschnittstelle für eine Halbleiterbehandlungsanlage

EP1490761 Art A2 29. Dezember 2004

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1490761
Aktenzeichen: EP03736442
Anmeldetag: 18. März 2003
Veröffentlichung: 29. Dezember 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G06F9/44

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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