Zusammensetzung zum Entfernen von "sidewall-Residues"

EP1490899 Art B1 13. September 2017

Anmelder: BASF SE, BASF Aktiengesellschaft, MERCK PATENT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1490899
Aktenzeichen: EP03760590
Anmeldetag: 27. Mai 2003
Veröffentlichung: 13. September 2017
Erteilung: 13. September 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3213C09D9/00C09G1/04G03F7/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: BASF SE
BASF Aktiengesellschaft
MERCK PATENT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

22.729 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

5.679 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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