Beol-Prozess für Cu-Metallisierungen ohne Al-Drahtbondkontaktflächen

EP1490906 Art A1 29. Dezember 2004

Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1490906
Aktenzeichen
EP02719422
Anmeldetag
2. April 2002
Veröffentlichung
29. Dezember 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L23/532H01L23/485
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Infineon Technologies AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Infineon Technologies

Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.

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