Biosensor und Methode zur Herstellung

EP1491884 Art A1 29. Dezember 2004

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Wageningen Universiteit 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1491884
Aktenzeichen
EP03253999
Anmeldetag
25. Juni 2003
Veröffentlichung
29. Dezember 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G01N27/414
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands B.V.
Wageningen Universiteit
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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