Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP1491961 Art B1 14. Dezember 2011

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1491961
Aktenzeichen
EP04076818
Anmeldetag
22. Juni 2004
Veröffentlichung
14. Dezember 2011
Erteilung
14. Dezember 2011
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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