Lasererzeugte Plasma-EUV-Lichtquelle mit isoliertem Plasma

EP1492395 Art A3 15. Juli 2009

Anmelder: University of Central Florida Foundation, Inc., University of Central Florida Research Foundation, Inc., University of Central Florida Research Foundation, NORTHROP GRUMMAN CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1492395
Aktenzeichen
EP03026825
Anmeldetag
20. November 2003
Veröffentlichung
15. Juli 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
University of Central Florida Foundation, Inc.
University of Central Florida Research Foundation, Inc.
University of Central Florida Research Foundation
NORTHROP GRUMMAN CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Northrop Grumman

US-amerikanischer Rüstungs- und Luftfahrtkonzern mit Sitz in Virginia, tätig in den Bereichen Verteidigungselektronik, Flugzeugbau, Raumfahrt und Cybersicherheit.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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