Veränderbare Temperaturprozesse für Verstellbaren Elektrostatischen Substrathalter
EP1493180
Art B1
16. Mai 2007
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1493180
- Aktenzeichen
- EP03728281
- Anmeldetag
- 25. März 2003
- Veröffentlichung
- 16. Mai 2007
- Erteilung
- 16. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/324H01L21/68H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
Lam Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Vertreten von
Falk, Urs
Steinhausen, Schweiz
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