Drei-Schichten-Maske zur Strukturierung von Doppelt-Damaszener Verbindungen

EP1493182 Art B1 23. Januar 2013

Anmelder: Dow Global Technologies LLC, DOW GLOBAL TECHNOLOGIES INC., Dow Global Technologies, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1493182
Aktenzeichen
EP03718102
Anmeldetag
28. März 2003
Veröffentlichung
23. Januar 2013
Erteilung
23. Januar 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/027H01L21/311H01L21/312H01L21/768// H01L21/316
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Dow Global Technologies LLC
DOW GLOBAL TECHNOLOGIES INC.
Dow Global Technologies, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Dow Global Technologies

US-amerikanisches Tochterunternehmen des Chemiekonzerns Dow, das geistiges Eigentum verwaltet und Patente aus Forschung zu Kunststoffen, Chemikalien und Materialwissenschaften der Dow-Gruppe hält.

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