Verfahren und Vorrichtung zum bereichsweisen Auftragen von Trennmitteln

EP1493836 Art A1 5. Januar 2005

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG, Applied Films GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1493836
Aktenzeichen
EP04003349
Anmeldetag
14. Februar 2004
Veröffentlichung
5. Januar 2005
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/04C23C14/56H01G13/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials GmbH & Co. KG
Applied Films GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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