Sio-Haltige Antireflexzusammensetzungen für eine Hartmaskenschicht
EP1495365
Art A1
12. Januar 2005
Anmelder: International Business Machines Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1495365
- Aktenzeichen
- EP03723925
- Anmeldetag
- 1. April 2003
- Veröffentlichung
- 12. Januar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/00G03F7/004G03F7/09G03F7/26H01L21/027H01L21/312
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- International Business Machines Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
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Vertreten von
Williams, Julian David
Rüschlikon, Schweiz
590
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Fachgebiete
5
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