Verfahren und Vorrichtung zur Konditionierung von Halbleiterwafern Und/oder Hybriden

EP1495486 Art B3 21. Oktober 2009

Anmelder: ERS electronic GmbH, ERS Electronic GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1495486
Aktenzeichen
EP03720475
Anmeldetag
15. April 2003
Veröffentlichung
21. Oktober 2009
Erteilung
21. Oktober 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
ERS electronic GmbH
ERS Electronic GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Barth, Stephan Manuel München, Deutschland
961
Patente gesamt
32
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektrische Energietechnik
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