Kontrolle der Dotierungsdiffusion und der Dotierungsaktivierung mit Athermal Aufheizen
EP1495490
Art A2
12. Januar 2005
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1495490
- Aktenzeichen
- EP03718188
- Anmeldetag
- 1. April 2003
- Veröffentlichung
- 12. Januar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/324H01L21/268H01L21/225H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
690 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Boyce, Conor
Dublin, Irland
1.261
Patente gesamt
33
Fachgebiete
23
Anmelder-Länder
Schwerpunkte